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罗茨真空泵选型需注意的问题

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人气:-发表时间:2017-06-01 16:35【

罗茨真空泵选型需注意的问题:

1、罗茨真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的罗茨真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确的选择罗茨真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但期工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

3、罗茨真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4、正确地组合罗茨真空泵。由于罗茨真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足缺氧要求。有的罗茨真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的罗茨真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,帮都需要把泵组合起来使用。

罗茨真空泵

5、真空设备对油污的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,也能达到清洁真空要求。

6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择罗茨真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管道上安装铺助设备,如冷凝器、除尘器等。

7、罗茨真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油罗茨真空泵,或者把油蒸气排到室外。

8、罗茨真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、罗茨真空泵的价格、运转及维修费用等。

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